愛德華EPX系列分子泵維修

EPX 180真空干泵

EPX 系列支持清潔和輕 型半導體加工應用，如灰化/剝離和注入端點 站應用。

EPX 系列以極輕、極小的 封裝提供工具上泵送功能，可實現異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲專利的獨特單軸再生 Holweck? 分級機構， 能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。

EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強的性能，既可集成到制程工具，又可以遠程 安裝。此外，通過集成的 MicroTIM 電子模塊還可以與制程工具 輕松建立通信連接。

應用

目標應用包括：

負載鎖

計量

傳輸腔

灰化/剝離

PVD

主要特性和優勢

占地面積小且重量輕 - 作為可用的 最小工具上泵之一，EPX 顯著節省了 占地面積。鋁制構造使其重量輕巧，增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和 安裝成本，如果需要也可遠程使用。  

受專利保護的獨特泵機構 - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準壓力并可在所有入口壓力下連續運轉。  

超清潔機構 - 傳統的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。  

非?？煽?- EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，最大程度地延長了泵的 使用壽命。

運轉時的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內實現低噪聲。

泵系列

EPX180L、LE、N、NE

EPX180 TwinL、LE、N、NE

EPX500L、LE、N、NE