愛德華IXH系列干泵維修

iXH 干式工業級真空泵系統

iXH 系列干泵產品是 Edwards 的市場領先 iH 產品的換代升級，為嚴苛制程能力 樹立了新標準，它在世界上的許多 300mm 半導體和平板 工廠內通過提高制程可靠性實現低擁有成本。

可滿足 FPD、太陽能、 半導體和 LED 制造業中日益提高的氣體流量要求的 完美大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，這些泵還配備多種特性 以確保在嚴苛制程中具有最大可靠性。

iXH 泵采用模塊化設計，符合 當今的制程要求，并且對于前沿工廠中不斷涌現的應用挑戰 有著路線明確的應對計劃。

應用

半導體的目標應用包括：

PECVD

高 K

低 K

SACVD

LPCVD

ALD

EPI

FPD 的目標應用包括：

PECVD

TCO

刻蝕

傳輸腔

主要特性和優勢

針對先進的 EPI 和太陽能制程大幅提高了氫氣抽取速度。

大容量干泵和 增壓泵提供擴展的制程窗口以提高產量。

占地面積更小，高度更低，便于在任何工廠中安裝。

符合主要的國際標準，包括 UL、CE 和 S2?？梢允冀K如一地使用或省略不用。