愛德華IH系列干泵維修

iH 高真空干泵 

我們的 iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列 具有五級主泵，使用創新的懸臂式轉子、爪式和羅茨 設計，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺單級機械增壓泵和完全 封閉的水冷卻電機。

應用

負載鎖定

轉換

計量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

功能與優勢

優化了設施消耗

無需預防性維護

懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理